激光干涉測量儀可對機(jī)床進(jìn)行校準(zhǔn)、檢測機(jī)器人的重復(fù)定位精度......并提供數(shù)據(jù)補(bǔ)償依據(jù),，是高品質(zhì)測量儀器產(chǎn)品,。

中圖儀器測量重復(fù)定位精度的配置主要由SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元,、線性鏡組,、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量,。

SJ6000激光干涉測量儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,，精確的補(bǔ)償,，可以降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。

線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式,，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,，即：被測運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí),，需設(shè)置停留時(shí)間,，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃,，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣,、測量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SJ6000激光干涉儀集光,、機(jī)、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，可實(shí)現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定的激光頻率輸出,，具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測量距離,、直線度,、垂直度平行度、平面度,。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu),，安裝位置靈活,，便于分析機(jī)床誤差來源,；而且測量時(shí)可以在工作部件運(yùn)動(dòng)過程中自動(dòng)采集數(shù)據(jù),，更接近機(jī)床的實(shí)際使用狀態(tài)。